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當(dāng)前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>白光干涉儀>> SuperViewW1白光干涉測(cè)厚儀
中圖儀器SuperViewW1白光干涉測(cè)厚儀是以白光干涉技術(shù)原理,，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器,，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量,。
SuperViewW1白光干涉測(cè)厚儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
性能參數(shù)
| 型號(hào) | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標(biāo)配:10× 選配:2.5×,、5×,、20×、50×,、100× | |
| 光學(xué)ZOOM | 標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×,、0.75×、1× | |
| 標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng) | 0.98×0.98㎜（10×物鏡,，光學(xué)ZOOM 0.5×） | |
XY位移平臺(tái) | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
| 負(fù)載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| 形貌重復(fù)性 | 0.1nm | |
| 粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm | |
| 臺(tái)階測(cè)量 | 準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ) | |
| 可測(cè)樣品反射率 | 0.05%~100% | |
| 主機(jī)尺寸 | 700×606×920㎜ | |
產(chǎn)品功能
1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；
2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；
3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；
4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；
6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
結(jié)果組成：
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等；
2,、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；
3,、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,；
4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；
5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量,；
6,、微電子表面分析和MEMS表征。
SuperViewW1白光干涉儀具有測(cè)量精度高,、操作便捷,、功能齊全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測(cè),。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。
